Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2
Loading...
Date
2012
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
A non-destructive method for the technological control of the structure defects in SiO2 + Si wafers by measuring the internal friction background difference on the nearby harmonics f1 and f2 after mechanical and heat treatments.
Description
Keywords
elastic module, internal friction, structure defects, dislocations, microstructure
Citation
Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2 / A. P. Onanko, M. P. Kulish, O. V. Lyashenko, G. T. Prodayvoda, S. A. Vyzhva, Y. A. Onanko // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 81–82. – Bibliography: 6 titles.