Одержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленням
No Thumbnail Available
Date
2002
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Подані результати експериментальних досліджень процесів імпульсного реактивного лазерно-магнетронного напилення тонких шарів AIN, AlN:Mn та
формування їх структурних і катодолюмінесцентних характеристик. Встановлено,
що основними технологічними факторами, які визначають властивості конденсату, є густина потужності лазерного імпульсу, температура підкладки, тиск азоту в реакційній камері та потужність паро-плазмового розряду. Проведено комплекс експериментальних робіт із вивчення механічних напружень у системі AlN - Al2O3 аналізом пружних деформацій. We report on the results of experimental investigations of processes of pulse lasermagnetron reactive deposition and formation structural and cathodoluminescent characteristics of AlN, AlN:Mn thin films. It was established that, the main factors which determine condensate properties are laser pulse density, substrate temperature, nitrogen pressure in the reactive chamber and energy of vapor-plasma discharge. Report on complex of experimental works on investigation of mechanical stresses in AlN - Al2O3 system was conducted by analysis of elastic deformation.
Description
Keywords
Citation
Одержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленням / Я. В. Бобицъкий, Б. К. Котлярчук, Д. І. Попович, А. С. Середницький // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 455 : Електроніка. – С. 3–9. – Бібліографія: 8 назв.