Одержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленням

dc.citation.journalTitleВісник Національного університету "Львівська політехніка"
dc.contributor.affiliationНаціональний університет «Львівська політехніка»uk_UA
dc.contributor.authorБобицъкий, Я. В.
dc.contributor.authorКотлярчук, Б. К.
dc.contributor.authorПопович, Д. І.
dc.contributor.authorСередницький, А. С.
dc.coverage.countryUAuk_UA
dc.coverage.placenameЛьвівuk_UA
dc.date.accessioned2018-03-12T09:14:16Z
dc.date.available2018-03-12T09:14:16Z
dc.date.issued2002
dc.description.abstractПодані результати експериментальних досліджень процесів імпульсного реактивного лазерно-магнетронного напилення тонких шарів AIN, AlN:Mn та формування їх структурних і катодолюмінесцентних характеристик. Встановлено, що основними технологічними факторами, які визначають властивості конденсату, є густина потужності лазерного імпульсу, температура підкладки, тиск азоту в реакційній камері та потужність паро-плазмового розряду. Проведено комплекс експериментальних робіт із вивчення механічних напружень у системі AlN - Al2O3 аналізом пружних деформацій. We report on the results of experimental investigations of processes of pulse lasermagnetron reactive deposition and formation structural and cathodoluminescent characteristics of AlN, AlN:Mn thin films. It was established that, the main factors which determine condensate properties are laser pulse density, substrate temperature, nitrogen pressure in the reactive chamber and energy of vapor-plasma discharge. Report on complex of experimental works on investigation of mechanical stresses in AlN - Al2O3 system was conducted by analysis of elastic deformation.uk_UA
dc.format.pages3-9
dc.identifier.citationОдержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленням / Я. В. Бобицъкий, Б. К. Котлярчук, Д. І. Попович, А. С. Середницький // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 455 : Електроніка. – С. 3–9. – Бібліографія: 8 назв.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/39577
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету "Львівська політехніка"uk_UA
dc.relation.references1. Strite S., Lin M., Morkoc H. / / Thin Sol. Films. - 199S. - 231. - P. 197-210. 2. Kotlyarchuk B.K., Popovych D.I. / / Proceedings o f SPIE. - 2000. - 4148. - P. 247-251. S. Kotlyarchuk B.K., Popovych D.I., Shvets M .J.// International School-Conference on Physical Problems in Material Science o f Semiconductors (PPM SS’99). 7-12 September 1999. Chernivtsi, Ukraine. - P.12. 4. Бобицъкий Я.В., Котлярчук Б.К., Попович Д.1., Савчук B.K. / / Вісн. Н У “Львівська політехінка”. - 2000. - № 401. - С. S-8. 5. Гофман P. У. Физика тонких пленок. - 1968. - 3. - С. 225-298. 6. Caldwell M.L., Richardson H.H., Kordesh M.E. / / Symposium W, “Gallium Nitride and Related A lloys” at the 1999 Fall M eeting o f the Materials Research Society held in Boston, Massachusetts, November 28-December 3. 7. Karel F., Mares J. // Czech. J. Phys. - 1972. - 22. - P. 847. 8. Винецкий В.Л., Холодарь Г.А. Радиационная физика. - K., 1979. - 336 с.uk_UA
dc.rights.holderБобицький Я. В., Котлярчук Б. К., Попович Д. І., Середницький А. С.uk_UA
dc.subject.udc621.315.592uk_UA
dc.titleОдержання тонких фосфорних шарів нітриду алюмінію лазерно-магнетронним напиленнямuk_UA
dc.title.alternativeFabrication of thin layers of aluminium nitride by laser-magnetron depositionuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
2_3-9.pdf
Size:
164.12 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description: