Застосування ультразвуку пікосекундного діапазону для вимірювань параметрів шарів у багатошарових структурах
No Thumbnail Available
Files
Date
2000
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Державного університету “Львівська політехніка”
Abstract
Розглянуто принципи неруйнівного контролю параметрів багатошарових кремнієвих,
напівпровідникових та змішаних структур. Подано схематичні діаграми та результати
комп’ютерного моделювання вимірювань за допомогою ультразвуку пікосекундного діапазону. Наведено
короткий огляд напрямків практичних досліджень ультразвуку пікосекундного діапазону.
Рассмотрены принципы неразрушающего контроля параметров многослойных кремниевых,
полупроводниковых и смешанных структур. Поданы схематические диаграммы и результаты
компьютерного моделирования измерений с помощью ультразвука пикосекундного диапазона.
Приведен краткий осмотр направлений практических исследований ультразвука пикосекундного
диапазона.
Considered principles of nondestructive parameters control of multilayer silicic, semiconducnor and mixed
structures. Helped into schematic graphs and results of computer modeling measuring by means picosecond
ultrasound. Brought over short areas examination of practical researches picosecond ultrasound.
Description
Keywords
Citation
Папіж Л. Застосування ультразвуку пікосекундного діапазону для вимірювань параметрів шарів у багатошарових структурах / Л. Папіж, А. Ковальчик, Б. Стадник // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Державний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. – Львів : Видавництво Державного університету "Львівська політехніка", 2000. – Випуск 56. – С. 81–87. – Бібліографія: 11 назв.