Застосування ультразвуку пікосекундного діапазону для вимірювань параметрів шарів у багатошарових структурах

Abstract

Розглянуто принципи неруйнівного контролю параметрів багатошарових кремнієвих, напівпровідникових та змішаних структур. Подано схематичні діаграми та результати комп’ютерного моделювання вимірювань за допомогою ультразвуку пікосекундного діапазону. Наведено короткий огляд напрямків практичних досліджень ультразвуку пікосекундного діапазону. Рассмотрены принципы неразрушающего контроля параметров многослойных кремниевых, полупроводниковых и смешанных структур. Поданы схематические диаграммы и результаты компьютерного моделирования измерений с помощью ультразвука пикосекундного диапазона. Приведен краткий осмотр направлений практических исследований ультразвука пикосекундного диапазона. Considered principles of nondestructive parameters control of multilayer silicic, semiconducnor and mixed structures. Helped into schematic graphs and results of computer modeling measuring by means picosecond ultrasound. Brought over short areas examination of practical researches picosecond ultrasound.