Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2002. – №454

Permanent URI for this collectionhttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45251

Вісник Національного університету «Львівська політехніка»

У Віснику опубліковано результата науково-дослідних робіт професорсько-викладацького складу, аспірантів та докторантів інституту телекомунікації, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету «Львівська політехніка», науковців та викладачів із провідних вищих закладів освіти та академічних інститутів та провідних вчених Республіки Польща. Тематика робіт пов’язана з питаннями теорії фізики напівпровідників та напівпровідникових приладів, теоретичними і практичними проблемами мікроелекгроніки та сенсорної техніки. Для викладачів, наукових співробітників, аспірантів, інженерів, студентів.

Вісник Національного університету «Львівська політехніка» : [збірник наукових праць] / Міністерство освіти і науки України, Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Національного університету «Львівська політехніка», 2002. – № 454 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки / відповідальний редактор Я. С. Буджак. – 80 с. : іл.

Вісник Національного університету “Львівська політехніка”

Зміст


1
3
7
11
15
19
24
28
37
42
47
53
59
63
71
75
79

Content


1
3
7
11
15
19
24
28
37
42
47
53
59
63
71
75
79

Browse

Search Results

Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    Підвищення чутливості мікроелектронних сенсорів тиску
    (Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2002-03-26) Дорош, Н. В.; Кучмій, Г. Л.; Національний університет “Львівська політехніка”
    Наведено технологію лазеростимульованої дифузії бору в кремнії для одержання концентрації домішки порядку ІО20 см 3 при зниженні температури та часу дифузійного відпалу з метою підвищення чутливості мікроелектронних сенсорів тиску. Наведено методику визначення порогової потужності лазерного випромінювання для створення порушених областей кремнієвої пластини.