New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization
No Thumbnail Available
Files
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined.
Description
Keywords
quasilinear process, The Deale-Grove’s model, interphase border, numerical methods, diffusive-oxidizing processes
Citation
Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХІ Міжнародної конференції TCSET2012, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 545. – Bibliography: 2 titles.