Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах
Loading...
Date
2006
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Проаналізовано доцільність побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем (МЕМСів) на активних напівпровідникових елементах–діодах та транзисторах. Analyzed expediency the structure of the microelectromechanical systems (MEMS) sensors on the active semiconductors - diodes and the transistors.
Description
Keywords
Citation
Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 557 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 20–24. – Бібліографія: 3 назви.