Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем
No Thumbnail Available
Date
2004
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Проаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented.
Description
Keywords
Citation
Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем / Н. В. Дорош, Г. Л. Кучмій, Л. М. Смеркло , В. І. Горбулик // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 98–101. – Бібліографія: 2 назви.