Skip navigation


Please use this identifier to cite or link to this item:
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДорош, Н. В.-
dc.contributor.authorКучмій, Г. Л.-
dc.contributor.authorСмеркло, Л . М.-
dc.contributor.authorГорбулик, В. І.-
dc.identifier.citationЛазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем / Н. В. Дорош, Г. Л. Кучмій, Л. М. Смеркло , В. І. Горбулик // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 98–101. – Бібліографія: 2 назви.uk_UA
dc.description.abstractПроаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented.uk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету «Львівська політехніка»uk_UA
dc.titleЛазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхемuk_UA
Appears in Collections:Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2004. – № 512

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
20_98-101.pdf136.81 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.