Методика автоматизованого визначення координат центрів вузлів тест-об’єкта за його РЕМ-зображеннями з використанням засобів MatLab

Abstract

Наведено та описано окремі технологічні процеси автоматизованого методу вимірювання координат вузлів спеціального тест-об’єкта з роздільною здат- ністю r = 1425 лін./мм для визначення дійсних значень збільшень цифрових РЕМ-зображень та величин їх геометричних спотворень, який розробили автори. Результати досліджень підтвердили високу ефективність запропонованого методу розпізнавання вузлів тест- об’єкта, який дає змогу отримувати координати вузлів тест-об’єкта з точністю 1–3 піксели (0,1–0,3 мм), яка співмірна з точністю вимірювань цифрових РЕМ- зображень. Внаслідок цього можна визначити параметри калібрування РЕМ-зображень з необхідною точністю і значно швидше.Presents and describes the individual processes developed by the authors of the automated method of special test object nodes coordinates measurements with a resolution of r = 1425 lines/mm to determine the actual values of digital magnification SEM images and values of their geometrical distortions. The results showed a high efficiency of the proposed method of recognition sites of the test object with an accuracy of 1–3 pixels (0,1–0,3 mm), which is comparable with the measurement accuracy of PEM digital images. As a result, it is possible to determine the calibration parameters SEM images with the required accuracy and much faster.Приведены и описаны отдельные технологические процессы автоматизированного метода измерений координат узлов специального тест-объекта с разрешающей способностью r=1425 лин./мм для определения действительных значений увеличений цифровых РЭМ-изображений и величин их геометрических искажений, который разработали авторы. Результаты исследований показали высокую эффективность предложенного метода распознавания узлов тест-объекта с точностью 1–3 пикселя (0,1–0,3 мм), которая соизмерима с точностью измерения цифровых РЭМ-изображений. В результате этого можно определить параметры калибрования РЭМ-изображений с необходимой точностью и значительно быстрее.