Вплив умов гальванічного заміщення у розчинах ДМСО на розміри наночастинок золота, фіксованих на поверхні кремнію

Abstract

Наведено результати досліджень залежності розмірів наночастинок золота, осаджених на поверхні кремнію, від умов гальванічного заміщення (складу розчину, температури та тривалості процесу) у середовищі ДМСО. Показано, що за концентрації 2–8 mМ H [AuCl4] формуються сферичні наночастинки металу з доброю адгезією до підкладки. Встановлено, що фіксовані наночастинки золота проявляють високу каталітичну активність для метал- каталітичного хімічного травлення кремнію з утворенням його наноструктур.The article presents the results of investigations of the dependence of the sizes of gold nanoparticles deposited on the surface of silicon from the conditions of galvanic replacement (composition of solution, temperature and duration of the process) in a DMSO medium. It is shown that, at concentrations of 2–8 mM H [AuCl4], spherical metal nanoparticles with good adhesion to the substrate are formed. It is established that fixed gold nanoparticles exhibit high catalytic activity for metal-catalytic chemical etching of silicon with the formation of its nanostructures.