Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору
Loading...
Files
Date
2003
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”
Abstract
Оптимізовано технологію виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) бору методом повного факторного експерименту. Досліджено вплив дисперсності і процентного вмісту компонентів дифузанту на максимальну температуру експлуатації ТПД бору. Optimization of technology for production of solid planar sources (SPS) of boron
has been made by a method of full factor experiment. The influence of a dispersivity and percentage contents of components for a diffusant has been investigated on maximum exploitation temperature of SPS of boron.
Description
Keywords
Citation
Мищишин В. М. Богдановський Ю.М. Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору / В. М. Мищишин, Ю. М. Богдановський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2003. – № 491 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 86–90. – Бібліографія: 9 назв.