Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору

Loading...
Thumbnail Image

Date

2003

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”

Abstract

Оптимізовано технологію виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) бору методом повного факторного експерименту. Досліджено вплив дисперсності і процентного вмісту компонентів дифузанту на максимальну температуру експлуатації ТПД бору. Optimization of technology for production of solid planar sources (SPS) of boron has been made by a method of full factor experiment. The influence of a dispersivity and percentage contents of components for a diffusant has been investigated on maximum exploitation temperature of SPS of boron.

Description

Keywords

Citation

Мищишин В. М. Богдановський Ю.М. Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору / В. М. Мищишин, Ю. М. Богдановський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2003. – № 491 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 86–90. – Бібліографія: 9 назв.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By