Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору
| dc.contributor.author | Мищишин, В. М. | |
| dc.contributor.author | Богдановський, Ю. М. | |
| dc.date.accessioned | 2011-06-08T10:21:11Z | |
| dc.date.available | 2011-06-08T10:21:11Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.description.abstract | Оптимізовано технологію виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) бору методом повного факторного експерименту. Досліджено вплив дисперсності і процентного вмісту компонентів дифузанту на максимальну температуру експлуатації ТПД бору. Optimization of technology for production of solid planar sources (SPS) of boron has been made by a method of full factor experiment. The influence of a dispersivity and percentage contents of components for a diffusant has been investigated on maximum exploitation temperature of SPS of boron. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Мищишин В. М. Богдановський Ю.М. Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору / В. М. Мищишин, Ю. М. Богдановський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2003. – № 491 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 86–90. – Бібліографія: 9 назв. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/9757 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” | uk_UA |
| dc.title | Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1