Метод оптимізації дисперсійних характеристик тонкоплівкових оптичних матеріалів
No Thumbnail Available
Date
2002
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Розроблено програмне забезпечення для визначення дисперсій показників заломлення і поглинання тонкоплівкових оптичних матеріалів за експериментальною залежністю коефіцієнта пропускання чи відбивання тонкої плівки від довжини хвилі. Визначені оптичні константи деяких тонкоплівкових матеріалів на основі тугоплавких окислів, осаджених методом електронно-променевого розпилення у вакуумі. Досліджені залежності дисперсійних характеристик від умов осадження плівок та вибрані оптимальні технологічні режими. The software for determination of dispersion of refraction index and absorption index of thin-film optical materials with experimental dependence of a transmission factor or reflection factor of a thin film from wave length is developed. The optical constants of some thin-film materials of refractory oxides deposited by a method of electron-beam evaporation in vacuum are determined. Dependencies of dispersing from conditions of a evaporation of thin-films are investigated and the optimum technological modes are selected.
Description
Keywords
Citation
Петровська Г. А. Метод оптимізації дисперсійних характеристик тонкоплівкових оптичних матеріалів / Г. А. Петровська, Т. А. Редько // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 455 : Електроніка. – С. 39–44. – Бібліографія: 3 назви.