The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves

No Thumbnail Available

Date

2002

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"

Abstract

The formation methods for reflecting grooves with vertical walls and depth of up to 7 are analyzed and optimized at the paper.

Description

Keywords

reflecting grading, surface acoustic wave, technology

Citation

The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves / L. Smerklo, V. Shkoropad, A. Zubkov, G. Kuchmij // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 176–179. – Bibliography: 3 titles.