The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
The formation methods for reflecting grooves with vertical walls and depth of up to 7 are analyzed and optimized at the paper.
Description
Citation
The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves / L. Smerklo, V. Shkoropad, A. Zubkov, G. Kuchmij // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 176–179. – Bibliography: 3 titles.