The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves
Date
2002
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
The formation methods for reflecting grooves with vertical walls and depth of up to 7 are analyzed and optimized at the paper.
Description
Keywords
reflecting grading, surface acoustic wave, technology
Citation
The analysis of technologycal methods for preparation of reflecting grading for devices based on surface acoustic waves / L. Smerklo, V. Shkoropad, A. Zubkov, G. Kuchmij // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 176–179. – Bibliography: 3 titles.