Електроніка. – 2004. – №513
Permanent URI for this collectionhttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/35077
Browse
Item Моделювання складу газової фази системи InAs-Sb-HCL для визначення оптимальних умов вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx(Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2004) Гумен, І. С.; Копцев, П. С.; Кость, Я. Я.Подано модель газової фази для вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx. Визначено якісну залежність складу газової фази від технологічних параметрів. Отримані мікрокристали твердого розчину InAsixSbx, експериментальна перевірка підтвердила адекватність моделі. The model of the gas phase for the InAsixSbx solid solution microcrystal growth was presented. The qualitative dependence of the gas phase proportion upon the technological parameters is determined. The microcrystals of the InAsi.xSbx solid solution were obtained and the experimental testing confirmed model adequacy.